Современные проблемы эллипсометрии
Подробная информация и способы доставки
В сборнике объединены работы, освещающие основные направления развития эллипсометрии и ее применений. Рассматривается широкий круг вопросов этой перспективной области науки --- от теоретических аспектов отражения света до создания эллипсометров разных типов, предназначенных для практических потребностей полупроводниковой микроэлектроники. Рассчитан на физиков-экспериментаторов и инженеров-технологов, работающих в области физической электроники, физики и химии поверхности и физики полупроводников.
Бренд:
Магазин: OZON
Сравнить цены в других магазинах