Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Подробная информация и способы доставки
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблона и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Издательство: Радио и Связь
Бренд:
Магазин: OZON
Сравнить цены в других магазинах